VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
GaP <100> 90 TOA after 1 min 3 KV etch
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

GaP <100> 90 TOA after 1 min 3 KV etch
2003
5
10
14
0
23
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
430
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
15536
0.144318
0.147464
3415
0.147464
3303
0.147448
3193
0.147432
3277
0.147416
3264
0.1474
3354
0.147384
3348
0.147368
3431
0.147352
3177
0.147336
3494
0.14732
3421
0.147304
3296
0.147288
3302
0.147272
3276
0.147256
3354
0.14724
3314
0.147224
3433
0.147208
3253
0.147192
3493
0.147176
3386
0.14716
3560
0.147144
3457
0.147128
3286
0.147112
3537
0.147096
3592
0.14708
3396
0.147064
3420
0.147048
3563
0.147032
3496
0.147016
3512
0.147
3492
0.146984
3579
0.146968
3386
0.146953
3486
0.146937
3512
0.146921
3695
0.146905
3546
0.146889
3509
0.146873
3701
0.146857
3719
0.146841
3716
0.146825
3573
0.146809
3719
0.146793
3754
0.146777
3583
0.146761
3604
0.146745
3737
0.14673
3664
0.146714
3713
0.146698
3578
0.146682
3654
0.146666
3632
0.14665
3569
0.146634
3556
0.146618
3348
0.146602
3330
0.146587
3453
0.146571
3413
0.146555
3392
0.146539
3409
0.146523
3576
0.146507
3531
0.146491
3573
0.146476
3552
0.14646
3653
0.146444
3600
0.146428
3618
0.146412
3574
0.146396
3397
0.146381
3725
0.146365
3700
0.146349
3962
0.146333
4030
0.146317
4042
0.146301
4023
0.146286
4207
0.14627
4429
0.146254
4585
0.146238
4960
0.146222
5193
0.146207
5484
0.146191
5567
0.146175
6228
0.146159
6571
0.146143
7056
0.146128
7373
0.146112
8145
0.146096
8805
0.14608
9426
0.146065
10433
0.146049
11269
0.146033
12200
0.146017
13003
0.146002
13580
0.145986
14535
0.14597
14706
0.145954
15025
0.145939
15536
0.145923
15217
0.145907
15260
0.145891
14886
0.145876
14155
0.14586
13421
0.145844
12872
0.145828
12341
0.145813
11309
0.145797
10650
0.145781
10049
0.145766
9048
0.14575
8873
0.145734
8219
0.145718
7637
0.145703
7247
0.145687
6869
0.145671
6275
0.145656
6116
0.14564
5731
0.145624
5433
0.145609
5209
0.145593
4975
0.145577
4942
0.145562
4820
0.145546
4558
0.14553
4564
0.145515
4566
0.145499
4368
0.145483
4772
0.145468
4683
0.145452
4869
0.145436
4763
0.145421
5226
0.145405
5097
0.14539
5372
0.145374
5311
0.145358
5524
0.145343
5362
0.145327
5223
0.145311
5147
0.145296
4907
0.14528
4718
0.145265
4385
0.145249
4140
0.145233
3769
0.145218
3642
0.145202
3072
0.145187
2888
0.145171
2517
0.145155
2125
0.14514
2046
0.145124
1844
0.145109
1434
0.145093
1444
0.145078
1006
0.145062
977
0.145046
879
0.145031
779
0.145015
758
0.145
736
0.144984
505
0.144969
545
0.144953
441
0.144938
403
0.144922
399
0.144907
453
0.144891
508
0.144875
363
0.14486
249
0.144844
316
0.144829
302
0.144813
229
0.144798
258
0.144782
320
0.144767
148
0.144751
214
0.144736
184
0.14472
154
0.144705
224
0.144689
229
0.144674
228
0.144658
113
0.144643
123
0.144627
184
0.144612
91
0.144596
163
0.144581
176
0.144566
82
0.14455
78
0.144535
92
0.144519
163
0.144504
0
0.144488
104
0.144473
200
0.144457
267
0.144442
214
0.144426
235
0.144411
206
0.144396
214
0.14438
281
0.144365
372
0.144349
211
0.144334
240
0.144318
end of experiment
